1、根據潔凈廠房中產品生產的需要和人員凈化、物料化等要求，一般設置有各種類型的凈化設備。各類凈化設備與潔凈室的圍護結構相連時，其接縫必須密封。
2、風機過濾單元(FFU)、空氣凈化設備(FMU)的安裝，一般應做到如下要求：
（1）FFU或FMU裝置應在清潔的現(xiàn)場進行外觀檢查，目測不得有變形、銹蝕、漆膜脫落、拼接板破損等現(xiàn)象。
（2）在風機過濾單元的高效空氣過濾器安裝前應進行檢漏，合格后才能進行安裝。安裝方向必須正確，安裝后的風機過濾單元應便于檢修。
（3）安裝后的風機過濾單元，應保持整體平整，與吊頂銜接良好。風機箱與過濾器之間的連接、風機過濾器單元與吊頂框架連接之間均應設有可靠的密封措施。
（4）風機過濾單元在進行系統(tǒng)試運轉時，必須在進風口加裝臨時中效空氣過濾器。
3、帶有風機的氣閘室、風淋室與地面間應設置隔振墊，安裝時應按產品說明要求，做到平整并與潔凈室圍護結構間配合適當，其接縫應進行密封。
4、機械式余壓閥的安裝，閥體、閥板的轉軸均應水平，允許偏差為2/1000。余壓閥的安裝位置應符合設計要求，一般設在室內氣流的下風側，并不應在工作面高度的范圍內。
5、傳遞窗的安裝應符合設計圖樣和產品說明書的要求，安裝應牢固、垂直，與墻體的連接處應進行密封。
6、潔凈層流罩的安裝應做到如下要求：
（1）應設有獨立的吊桿，并設有防晃動的固定措施。
（2）層流罩安裝的水平度的允許偏差為1/1000，高度的允許偏差為±1.0mm。
（3）當層流罩安裝在吊頂上時，其四周與頂棚之間應設有密封和隔振措施。